HMDS (헥사메틸디실라잔, CAS 999-97-3): 흄드 실리카 표면 개질 및 실리콘 수지 생산을 위한 M 단위 실릴화 시약
SEMITECH HMDS는 광범위하게 사용되는 실릴화 시약입니다 — 비스(트리메틸실릴)아민 — Si-OH 표면, PDMS 사슬 말단, 분석 기질 하이드록실기에 트리메틸실릴 (TMS) 기를 설치하는 데 사용. 부산물은 암모니아; 인화성 액체 Class IB; 순도 ≥99%, 드럼 200 kg.
목차
| 999-97-3 | ≥99% | 161.4 |
|---|---|---|
| CAS 번호 | 순도 | 분자량 (g/mol) |
화학 및 사양
비스(트리메틸실릴)아민, (Me₃Si)₂NH; 무색 투명한 액체; 비점 125°C; 암모니아 부산물; 인화성.
HMDS (CAS 999-97-3)는 구조 (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃, 분자량 161.4 g/mol, 밀도 0.774 g/cm³, 비점 125°C, 인화점 19°C. SEMITECH은 GC 순도 ≥99%, 수분 ≤500 ppm, 유리 트리메틸실라놀 ≤0.5%, APHA ≤30으로 공급합니다.
HMDS 1몰은 기질 -OH 2몰을 실릴화하고 암모니아 1몰을 방출합니다. 산업 규모 실릴화 중 암모니아 부산물은 환기 또는 스크러빙이 필요합니다.
응용: 실리카 표면 개질, MQ 수지, GC 유도체화, 반도체
흄드 실리카 소수화, MQ 수지 합성, 분석 GC 유도체화, 반도체 포토리소그래피 접착 촉진.
흄드 실리카 소수성 표면 개질이 최대 응용 — 친수성 흄드 실리카를 소수성으로 전환하여 실리콘 씰란트, 소포제 컴파운드, 잉크에 사용. 유동층 반응기에서 80–150°C로 실리카 기준 5–15 wt% 도즈.
실리콘 MQ 수지 합성은 HMDS를 M 단위 원료로, TEOS를 Q 단위로 공가수분해-축합에 사용. 분석 GC 유도체화는 극성 분석물을 휘발성 TMS 유도체로 전환. 반도체 포토리소그래피는 포토레지스트 코팅 전 실리콘 웨이퍼에 HMDS 증기를 접착 촉진제로 사용.
▶Show full content (5 sections)
반응 메커니즘, 암모니아 부산물 및 산업용 취급
TMS-N-TMS가 기질 -OH를 공격; NH₃ 방출; 완전 실릴화는 환기/스크러빙 필요.
반응 속도는 고온 (80–150°C), 산 촉매 (0.1–1.0%), 무수 조건으로 촉진.
- 흄드 실리카 실릴화 — 실리카 기준 5–15 wt% HMDS, 80–150°C, 1–4시간 유동층 또는 교반 탱크에서 NH₃ 제거를 위한 N₂ 퍼지
- MQ 수지 합성 — HMDS를 M 단위로, TEOS를 Q 단위로, 산 촉매로 60–120°C에서 공가수분해
- GC 유도체화 — 분석물당 5–10 몰 당량 HMDS, 60–80°C, 30–60분 피리딘 용제에서
- 반도체 포토리소그래피 — 100–150°C HMDS 증기, 전용 HMDS 증기 프라임 기기에서 1–2분 웨이퍼 처리
암모니아 스크러버 (황산 또는 구연산 용액)는 하루 1 kg NH₃ 이상 생산하는 모든 HMDS 사용에 필수.
구매, 보관 및 품질 관리
배치별 CoA; 드럼 200 kg; 유효기간 12개월; 인화점 19°C — 인화성 Class IB, 격리 보관 필요.
표준 포장 HDPE 라이닝 강철 드럼 200 kg; 대량 소비자용 IBC 1 t. 최소 주문량 200 kg. 납기 절강성에서 아시아 2–4주, 유럽/북미 4–6주. 5–25°C에서 양압 환기 및 방폭 연결부로 보관. 유효기간 25°C 미만 N₂ 밀봉 12개월. REACH 등록.
HMDS 사양 시트
| 특성 | 사양 | 시험 방법 |
|---|---|---|
| 화학명 | 헥사메틸디실라잔 / 비스(트리메틸실릴)아민 | — |
| CAS 번호 | 999-97-3 | — |
| 분자식 | (CH₃)₃Si-NH-Si(CH₃)₃ / C₆H₁₉NSi₂ | — |
| 분자량 | 161.4 g/mol | — |
| 순도 (HMDS) | ≥99% | 가스 크로마토그래피 |
| 수분 함량 | ≤500 ppm | Karl Fischer |
| 유리 트리메틸실라놀 | ≤0.5% | GC |
| APHA 색상 | ≤30 | ASTM D1209 |
| 밀도 (20°C) | 0.774 g/cm³ | ASTM D1475 |
| 굴절률 (20°C) | 1.408 | ASTM D1218 |
| 비점 | 125°C (상압) | — |
| 인화점 | 19°C (밀폐컵) | ASTM D93 |
| 증기압 (20°C) | 1.5 kPa (~11 mmHg) | — |
| 인화성 분류 | Class IB / EU CLP 인화성 액체 카테고리 2 | — |
| 반응성 | 물과 반응하여 NH₃ + (CH₃)₃SiOH 방출 | — |
| 포장 | HDPE 라이닝 강철 드럼 200 kg / IBC 1 t / 호박색 유리병 25 kg (실험실) | — |
| 유효기간 | 25°C 미만 N₂ 밀봉 12개월 | — |
자주 묻는 질문
비표면적 200 m²/g의 흄드 실리카 완전 소수화에 필요한 HMDS 양?
이론적 최소 ~10.8 wt% HMDS/실리카 (실라놀 밀도 4 OH/nm² 기준). 실용적 산업 로딩은 90% 이상 전환을 위해 12–15 wt%. 낮은 비표면적 실리카 (50–100 m²/g)는 5–8 wt%로 줄이십시오.
HMDSO (헥사메틸디실록산)를 실릴화 시약으로 HMDS 대신 사용할 수 있나요?
아니요 — HMDSO는 Si-N 결합과 실릴화 반응성이 없는 HMDS 실릴화의 안정한 부산물. TMS 기 설치에는 Si-N 또는 Si-Cl 시약이 필요: HMDS (실리카에 선호), TMSCl (더 공격적, HCl 방출), 또는 BSA (분석 화학에 더 부드러움).